一、產(chǎn)品簡(jiǎn)介

光學(xué)薄膜的物理厚度是薄膜最基本的參數(shù)之一，它會(huì)影響整個(gè)器件的最終性能，因此快速而精確地測(cè)量薄膜厚度具有重要的意義。隨著計(jì)算機(jī)、CCD 技術(shù)及微刻蝕技術(shù)的發(fā)展，微型光譜儀成為了實(shí)驗(yàn)室光譜分析的重要工具。我司數(shù)字光譜儀選用 Richardson 閃耀光柵，靈敏度提升 20%，雜散光降低 50%。同時(shí)，采用雙閃耀技術(shù)，搭載紫外敏化 CCD，第一次將有效波段拓展至 200~1100nm。而這一切都被放在了全新設(shè)計(jì)的 72.5mm焦距 / 對(duì)稱/ 非交叉 C-T 光學(xué)平臺(tái)之中。可達(dá)到最低0.1nm 的光譜分辨率；具有波長(zhǎng)探測(cè)范圍較寬，高穩(wěn)定性，可編程控制，設(shè)計(jì)緊湊，便于攜帶和測(cè)量等優(yōu)勢(shì)，在光電檢測(cè)設(shè)備、環(huán)境檢測(cè)系統(tǒng)、色彩偵測(cè)管理、醫(yī)學(xué)檢測(cè)和光譜分析方面都有廣泛的應(yīng)用。基于白光干涉的原理，利用我司微型數(shù)字光譜儀通過(guò)數(shù)學(xué)函數(shù)被可以比較精確的計(jì)算出薄膜厚度。

二、知識(shí)點(diǎn)

白光干涉、微型光譜儀、Y 型光纖、透射光譜、反射光譜、光譜分辨率

三 、涉及課程

光學(xué)、光電子技術(shù)、光電檢測(cè)、光譜分析、光譜應(yīng)用技術(shù)

四、實(shí)驗(yàn)內(nèi)容

1、了解白光干涉原理

2、動(dòng)手搭建薄膜測(cè)厚系統(tǒng)

3、測(cè)量不同樣品膜厚

五、實(shí)驗(yàn)配置

光譜儀、標(biāo)準(zhǔn)光源、Y 型光纖、待測(cè)樣品、膜厚采集及分析軟件、實(shí)驗(yàn)講義

備注：本實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)可選配電腦，客戶自行購(gòu)買，亦可由我司代購(gòu)，價(jià)格另計(jì)。